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研磨金刚石时，吸附在金刚石研磨粉上的 一方面阻止金刚石粉对被金刚石表面的直接冲击，保护被金刚石表面不被深度损伤，另一方面与被金刚石表面发生反应并通过微弱的磨削作用将反应层去除。该方法的磨削速度非常低，仅为每分钟1个原子层。真空等离子化学抛光。首先用真空等离子物理气相沉积法在研磨盘表面镀上一层细晶粒氧化硅，然后在高真空中活化金刚石表面，同时使之与转动中的研磨盘相接触，金刚石表面处于活化状态的碳原子会与研磨盘上的氧化硅发生反应，从而对金刚石形成磨削;反应生成的 或二氧化碳气体被真空泵抽出反应室。